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安全、節能、舒適——了解SAKAGUCHI坂口電熱的三大優勢
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2024-12-13 SAKAGUCHI坂口電熱ExLASER激光ExLASER激光®ExLASER®是一種多功能激光平面瞬時加熱裝置。
產品型號：EXL-CT-010-DS55廠商性質：經銷商更新時間：2024-11-29訪 問 量：494
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SAKAGUCHI坂口電熱ExLASER激光
ExLASER激光®
ExLASER®是一種多功能激光平面瞬時加熱裝置。
長處
可實現超快的溫度上升和下降。
一次均勻加熱 2 英寸基板
只有被加熱的物體才能直接加熱。
可根據工藝進行溫度控制
在不加熱大氣的情況下節能
應用實例
MBE設備的基板加熱
晶圓退火（SiC、GaAS等）
可以對多層器件進行表面退火（與小型化器件兼容）
日本原子能機構 日本
激光功率：100W
尺寸：H251×W200×D253（mm）
使用 EXL-CT-010DS55，對安裝在真空室中的樣品進行激光加熱。 溫度分布是從樣品的背面（與激光照射表面相反）測量的。
溫度分布藍寶石襯底溫度分布
（激光功率：1000W）
藍寶石
襯底溫度快速升降（平均襯底溫度）（激光功率：1000W）
溫度分布金屬板溫度
分布
（激光功率：86W焦點）
溫度傾斜圖 金屬板的溫度
| 型號 EXL-CT-010-DS55 | |||
|---|---|---|---|
| 激光照射方式 | 直接型 | 機身尺寸 | 高 625mm ×寬 700mm ×深 320mm |
| 激光功率 | 高達 1kW | 附屬品 | 專用冷水機組 |
| 激光波長 | 808納米 | 額定 | 主機：1P200V20A 冷水機：1P200V15A |
| 激光幾何形狀 | 廣場 | ||
| 光學（均勻性） | 均質機 （±5%） | 言論 | JST原創建模 開發產品（FY17） |
| 加熱區 | □ 55mm | ||
| 工作距離 | 400毫米~ | ||
* 以上為標準規格。 可根據客戶要求進行更改。
真空室
溫度控制單元 ?輻射溫度計 ?數字指示控制器
?紅外線傳輸窗口
PCB 支架（用于 2 英寸板）
用于組合專用基板支架的光學系統（與□10mm板兼容）
各種襯底（藍寶石、硅、砷化鎵等）
SAKAGUCHI坂口電熱ExLASER激光
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