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2025-03-08 ULVAC愛發科 測定子這是一個新系列的傳感器類型 “G-TRAN系列復合電離真空計“，可以實現不同的測量范圍。作為B-A型電離真空計、可以測量超高真空。保留了以往的寬幅測壓和低運行成本的理念，但進行了改進，更加人性化。
產品型號：SH200-A廠商性質：經銷商更新時間：2024-11-27訪 問 量：755
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復合電離真空計
SH200 系列
ULVAC愛發科 測定子
這是一個新系列的傳感器類型 "G-TRAN系列復合電離真空計"，可以實現不同的測量范圍。作為B-A型電離真空計、可以測量超高真空。保留了以往的寬幅測壓和低運行成本的理念，但進行了改進，更加人性化。
可連接到不同的測量范圍：復合電離真空計可以根據
小型化：與之前的產品相比，實現了尺寸的大幅縮小（控制器體積縮小56%），成為同級別最小的產品之一。
操作性的提高：通過與PC/智能手機的連接，可以進行設定點設置、狀態確認等。
更強大的產品陣容：除模擬輸出規格（SH200-A）和串行通信規格（SH200-R）外，還將增加EtherCAT規格（SH200-E）。
燈絲壽命通知功能：通過監測燈絲功率，可提前通知燈絲壽命。
壓力測量范圍廣：從大氣壓到高真空范圍（1×10+5～5×10-8Pa）（選配SWU10-R的情況下）。
可以精確的測量大氣壓：可以檢查腔體的開啟情況（當連接了可選的單元SAU時）。
用于各種制造設備的高真空區域的工藝監控，包括半導體和電子元件。
用于具有多個處理室的各種制造設備的高真空區域的極限壓力測量，例如in-line式和枚葉式
高真空?超高真空設備的壓力測量
| 型號 | SH200-A | SH200-R | HT200-E （即將上市） | |
| 規格 | 標準規格 | 串口通信規格 | EtherCAT規格 | |
| 適應多離子傳感器 | M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070) | |||
| 可以連接的傳感器 | 多離子傳感器：1本 皮拉尼真空計SWU10-R：1本（可選） 大其他傳感器SAU：1本（可選） | |||
| 測量精度（N2） | SH200本體模式：±2％ | |||
| 取樣時間 | 60ms 5回 移動平均処理 | |||
| 測定値出力 | 出力電壓 DC 0～10V LOG出力 0.75V/1桁 圧力換算公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^ | |||
| 更新時間 | 60msec | |||
| 控制輸入信號 | FIL ON/OFF, FIL 1/2, DEGAS ON/OFF 打開集電極動作、負邏輯 * FIL ON/OFF信號使用方式因模式而異 | - | - | |
| 制御出力信號 | 傳感器錯誤，設定點1/2/3, 有效排放,燈絲電力監控 定格：24VMAX、50mAMAX、飽和電圧1V | - | - | |
| 串行通信規格 | - | RS232C/RS-485 | EtherCAT | |
| LED顯示 | POWER/ERROR： 電源、LED ERROR (閃爍狀態根據各種模式變化) | |||
| 發射電流 | 1mA (1×10-3Pa以下), 10μA (1×10-3Pa以上) | |||
| DEGAS | 電子轟擊脫離方法（電子轟擊）1mA、330V | |||
| 測量部耐圧性 | 2×10+5Pa （絕對壓力） * 需要單獨考慮法蘭和夾具等的耐壓性 | |||
| 傳感器內部容量 | 17cm3(M-44), 19cm3(M-45), 17cm3(M-46) | |||
| 使用溫度范圍 | 10～50℃ | |||
| 使用濕度范圍 | 15～80%(不結露) | |||
| 保管溫度 | -20～65℃(非通電時、不結露) | |||
| IP保護等級 | IP30 | |||
| 電源電壓 | DC20～28V (波紋，噪音1%以下) 8W以下 | |||
| 輸入/輸出連接器 | D-sub15銷（M2.6螺絲） | |||
| 重量 | 調節器：約280g 測定子(M-44, M-45)：80g, (M-46): 300g | |||
| 外形尺寸 W×D×H | 69mm×63mm×90mm (控制器部分) | |||
| 適合規格 | CE | |||
| 選項 | 多離子傳感器 | M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070) 材質：燈絲1,2 -Ir/Y2O3殼 其他：PtC-Mo, SUS304, W, Kovar glass, Kovar/Ni??? | ||
| 皮拉尼真空計傳感器 | SWU10-R ※也支持傳統的SPU產品。 | |||
| 皮拉尼真空計 | SWP-16(NW16), SWP-25(NW25), SWP-R1/8(R1/8), SWP-P18(Φ18 pipe end), SWP-P15(Φ15 pipe end),SWP-CF16(ICF034) 材質：燈絲－Pt, 其他－BS/Ni, 電鍍, Ni, 焊接 | |||
| 大氣壓傳感器 | SAU(NW16) 材質：SUS316L | |||
| 單位電纜 | GUC-200P（SWU用）：0.5m, 1m, 2m, GUC-200A（SAU用）：0.5m, 1m, 2m | |||
| 顯示單元 | 1CH：ISG1 (DC24V電源使用) | |||
| 顯示單元電纜 | SH200～顯示單元電纜 2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30ｍ, 35m, 40m | |||
| 連接器 | 入出力連接器（D-sub15-soket（M2.6mm螺絲）） | |||
| 其他 | 検査成績書, 一般校正試験成績書, JCSS校正証明書 | |||
SH200-A/SH200-R/SH200-E有3種方式可選，多規格單體模式、皮拉尼真空計的組合模式、皮拉尼真空計或大氣壓傳感器的三重組合模式
| 模式 | SH200-A/SH200-R/SH200-E 單體模式 | SH200-A/SH200-R/SH200-E ＋SWU10-R 組合模式 | SH200-A/SH200-R/SH200-E ＋SWU10-R＋SAU 組合模式 |
| 測量圧力范圍 | 5.0×10-8 to 1.0×10+1Pa | 5.0×10-8 to 1.0×10+5Pa | 5.0×10-8 to 1.0×10+5Pa |
| 測量精度 | 5.0×10-8 to 1.0×10+1Pa： ±15% | 5.0×10-8 to 1.0×10-1Pa：±15% 4.0×10-1 to 3.0×10+0Pa：±10～±15% 3.0×10+0 to 1.0×10+4Pa：±10% 1.0×10+4 to 1.0×10+5Pa：±20% | 5.0×10-8 to 4.0×10-1Pa：±15% 4.0×10-1 to 3.0×10+0Pa：±10～±15% 3.0×10+0 to 1.0×10+4Pa：±10% 1.0×10+4 to 3.0×10+5Pa：±3%F.S.(3.0×10+3Pa?基準溫度25℃) |
| 連接方式圖解 |  |  |  |
| 測定壓力范圍圖解 |  當需要確認大氣壓，如腔體打開的情況下，推薦使用三合一組合 | ||
| 電腦用 | 從ULVAC SHOWCASE下載 |
| 智能手機用 | Google Play下載 |
| 電腦 | Windows10 64bit 以上 |
| 智能手機 | Android 6以上、USB TypeC |
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